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真空泵维修说明事项，泵的极限压力是在真空计（麦氏真空计）测得的分压强值，如用热偶真空计、电阻真空计等全压强计测，其真空值至少要低一个多数量级。泵抽除含氧过高、对金属有腐蚀作用的、与真空泵油起化学反应的气体或有机容剂等，请务必在被抽系统与真空泵之间串联一相应的过滤器或干燥剂，以确保真空泵正常使用。真空泵维修是一项要求严格、条件苛刻的精密的技术，对于环境的要求和工具的要求较多，所以一般正规的真空泵维修都是取泵维修。为确保真空仪器真空后的安全可靠，在真空泵与真空仪器之间必须装置一阀门开关（真空仪器本身带有开关的除外）

真空泵维修***误区

 真空泵为什么有噪音，有以下几种可能，首先排除电机是否有异音，如果电机生音正常，电机主要是轴承损坏将有异音，更换轴承及排除，缸体是否有磨损状况，如果缸体磨损声音肯定会变大，解决方案，那就是搪缸，搪缸对泵浦本身影响很大的，会影响泵浦真空度及抽速，所以搪缸的尺寸及精度要求非常高，还有一级转子与二级转子连接处有个联轴器是否有磨损，如果磨损声音会变大，真空泵维修处理方案，就是更换，如果更换基本就可以排除声音过大，泵浦轴承是否有更换，这个是直接影响声音的根本原因，所以更换及可以解决噪音大之故障，一级转子与二级转子连接销钉是否有磨损状况，如果磨损也会导致噪音变大，处理方案就是换新，泵浦间隙是否符合标准，如果间隙过大或者过小也会导致噪音变大，所以间隙必须符合泵浦使用状况，排气端是否有消音装置，如果没有也会直接导致声音变大，处理方案就是更换及可以安装及可排除。    真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对ya有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空。有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。10-3电源电压（标准的）V230/4004604)230/4004604)如需其它电压请与LEYBOLD接洽电机功率kW44。真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。

罗茨真空泵定期检查项目：

1、每日检查：

a）油位检查：油量过多，使温度升高，油量过少，造成润滑不良。

b）电动机负荷检查：用功率表或电流，电压表测量电动机负荷。

c）温度检查：用温度计检查泵各部位温度。

2、罗茨真空泵每月检查：

联轴器及垫片是否损坏和松动。

3、罗茨真空泵每3个月检查项目：

齿轮箱内润滑油是否变质。

4、罗茨真空泵每6个月检查项目：

a）前盖轴承箱内润滑油是否变质。

b）齿轮微量程度的磨损对转子正常运转是否产生影响，是否需要调整。

c）活塞环及活塞环衬套是否有磨损。