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关于真空泵漏气检测方法

   真空泵在使用过程中如发现有漏气情况首先应当辨别是:真空泵漏还是管道漏。

   1、检测真空泵的方法：将真空泵与其管道分离，用真空计直接测量真空泵进气口，如果泵真空度达到使用标准就排除了泵漏气的可能；

   2、检测管道的方法：把管道或管道某一段取下，将其中一头接在不漏气的泵上，另一头用真空计测量，通过这个方法检测能够分清漏气点。

多级罗茨干泵工作过程中的传热模型,包括泵体外壁与大气的自然对流换热模型、泵壁内部的热传导模型、泵体内壁与气体之间的强迫对流换热模型、泵体内气体与转子的强迫对流换热模型和转子轴上的热传导模型。LEYBOLDOPTTICCCS系列包括生产解决方案，适用于中等产量的标准和离子辅助镀膜工艺。同时, 通过接触式和非接触式测温方法, 对各级泵体内外壁、气体和转子温度进行了实验测量, 并将温度测量结果作为边界条件, 使用ANSYS 软件对多级罗茨干泵泵体及转子轴在稳定运转时的温度场进行了分析, 并采用热- 结构耦合分析对其热变形进行了计算, 得到转子轴和泵腔的热变形量, 为进一步计算干泵在运行时受热产生的间隙变化提供了计算依据。

螺杆真空泵是把两个经过动平衡校正、用轴承支撑的螺杆，安装在真空泵腔内，并在两个螺杆之间预留合理的间隙。螺杆泵在运转的时候，两根螺杆在泵腔内作同步高速的反向旋转，以此来产生进气和排气。涡街流量计2、喷油，说明进气口外有大量的漏点，甚至是进气口直接大气。因为螺杆经过严格的动平衡校正，并且螺杆之前有合理的间隙，因此真空泵工作时，螺杆之间不会相互磨擦，运转平稳，噪音低，并且运行时腔室内不需润滑油，消耗功率低，具有节能，免维修等优点，特别适用于要环境及噪音要求比较高的工艺。